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水循环冷水机在真空镀膜中的作用

文章出处:admin 人气:发表时间:2019-03-07 09:11

水循环冷水机在真空镀膜中的作用
真空镀膜是在镀件表面镀一层薄薄的金属膜,为保证镀件的高质量,在镀膜过程中需要用到水循环冷水机来提供恒温、恒流、恒压的冷却水.
水循环冷水机能控制真空镀膜机的温度,使真空镀膜机保持在一定的温度范围内正常工作,以保证镀件的高质量。如果不配冷水机就不能使真空镀膜机保持高精度、高效率的运行。

真空镀膜工作原理是膜体在高温下蒸发落在工件表面结晶。由于空气对蒸发的膜体分子会产生阻力造成碰撞使结晶体变得粗糙无光,所以必须在高真空下才能使结晶体细密光亮,如果真空度不高结晶体就会失去光泽结合力也很差。早期真空镀膜是依靠蒸发体自然散射,结合差工效低光泽差。现在加上中频磁控溅射靶用磁控射靶将膜体的蒸发分子在电场的作用下加速轰击靶材,溅射出大量的靶材原子,呈中性的靶原子(或分子)沉积在基片上成膜,解决了过去自然蒸发无法加工的膜体品种,如镀钛镀锆等等。
中频设备频率高电流大。电流在导体流动时有一个集肤效应,必须加冷却水。水循环冷水机具有完全独立的制冷系统,可提供水温在5℃~30℃范围内的冷却水,使中频设备正常工作。
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